隨后，消防隊趕到現場之后，發現是廠區的電力輸送系統發生故障，才會發生跳電意外，并沒有起火，也沒有人員傷亡，虛驚一場。

根據竹科管理局環安組的報告指出，聯電因內部電力設備Cable1611壞損，致氮氣設備故障，現場備用氮氣系統供給量增加，蒸發器功率提高，致水凝結量增加形成煙霧；現原氮氣設備已啟用，備用設備已關閉。另因電力設備故障，啟用發電機時發出巨響發聲，及啟動初期柴油燃燒不完全排出黑煙，致民眾誤以為火警，已對大家澄清。

當天下午，聯電科技財務長劉啟東在郵件中對外確認了此事。現場緊急啟動不斷電系統救援，要等完全復電才會恢復生產。聯電預估，會損失半天的一小部分產能，對營運只有微幅影響。

另外有消息指出，本次的跳電可能對以8吋廠為主力的聯電造成上億元新臺幣的損失。

論及此事對聯電科技運營的影響，劉啟東表示，涉事的是部分8吋晶圓廠，廠區會損失當天部分生產產能。劉啟東并未透露這些產能會影響到哪些客戶，僅表示“會盡量不影響對客戶的出貨”。

2020下半年以來，全球8吋晶圓代工產能需求旺盛，其產能缺口進一步擴大，對此多家晶圓代工廠將調漲價格。由此，外界仍擔憂，此次聯電8吋晶圓廠斷電事故或將使得本就極度緊缺的8吋晶圓產能雪上加霜，下游的相關芯片供應也將更加緊張。