據經濟日報早間引述供應鏈消息稱，為應對美國擴大封鎖華為，臺積電通知設備廠，決定延后5nm擴建及3nm試產腳步至明年首季。

報道指出，來自臺積電供應鏈方透露 ，臺積電在上周已經緊急通知設備商，將原來應自7月起到年底交貨的設備盡數叫停。報道進一步指出，臺積電方面不愿透露個別客戶產能配置；至于3nm試產時間，會在后續的法人說明會上對外進行說明。

消息傳出后迅速引發業界關注，不過，臺積電方面很快就否認了這一消息，表示包括5nm、3nm制程均照進度進行中，并未如外傳延后。

據中央社報道，受到疫情影響，市場近來多次傳出臺積電將延后先進制程進度，也恐因此調降今年資本支出，不過，臺積電在日前的法說會上表示，即便肺炎疫情帶來不確定性，但看好未來幾年高效運算、5G需求，將持續布局先進制程，重申今年資本支出金額維持不變、約150至160億美元。

據臺積電規劃，今年資本支出已有明確規劃，其中80%將用于3nm、5nm與 7nm等先進制程技術，其余10%用于先進封裝與光罩，另外10%用于特殊級制程技術。

據了解，臺積電3nm是5nm之后的下一代節點，官方信息顯示3nm工藝晶體管密度達到了破天荒的2.5億/mm²，而5nm工藝不過是1.8億/mm2，而3nm性能較5nm提升7%，能耗比提升15%。

在工藝上，臺積電評估多種選擇后認為現行的FinFET工藝在成本及能效上更佳，所以3nm首發依然會是FinFET晶體管技術。

先前市場亦有傳言稱，臺積電晶圓18廠的五、六期因招標工程延后決標，將影響3nm制程進度，當時臺積電回應，采購招標作業及3nm進度均照計劃進行中。

而近期在美國擴大封鎖華為下，再傳出臺積電決定延后5nm擴建，及3nm試產時程，將延后2季至明年第1季。對此，臺積電今日表示，包括5nm、3nm米制程，均照進度進行中，3nm將如期在2021年試產，并于2022年下半年量產。